Txcf 晶圆particle检测设备
WebMay 23, 2024 · 微粒检测讲解课件.ppt,建议使用仪器测试的数据作为标准粒子的底数 1 2.1 3.1 4 4.9 6 N μm 标准粒子的形状比较规则，绝大多数为球体，其颗粒尺寸分布均匀单一，相对比较窄，一般呈围绕某一个尺寸点的正态分布，如图。由于不是严格的单一尺寸，因此称为近单分散球形颗粒。 Web玻璃晶圆的 ParticleInspect 可以清晰地区分 A 侧和 B 侧的微粒，这是申克博士检测独有的优点。 玻璃晶圆 Particle Inspection 1 μm微尘/颗粒物
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